דירוג טוהר ואישור של כור היתוך טנטלום בטוהר גבוה
כור היתוך טנטלום בטוהר גבוה מוגדר על ידי טוהר גדול מ-99.99% או שווה ל-99.99%, ביטול עקבות מזהמים כדי לעמוד בדרישות המחמירות של עיבוד חומרים רגישים במיוחד.
שכבות הטוהר כוללות 99.95% (דרגה מסחרית), 99.98% (כיתה אנליטית) ו-99.99% (דרגה אלקטרונית/גרעינית). הסמכה באמצעות GDMS (ספקטרומטריית מסה פריקת זוהר) או ICP-MS (ספקטרומטריית מסה פלזמה בשילוב אינדוקטיבי) מאמתת את רמות הטומאה: למשל, ל-99.99% כור ההיתוך יש Fe פחות מ- או שווה ל-5 ppm, Ni פחות מ- או שווה ל-3 ppm, C פחות מ- או 10 ppm. יכולת העקיבה הזו היא קריטית ליישומי תעופה וחלל (מסגסוגות-על מתכה) או מוליכים למחצה (עיבוד דיאלקטריים גבוהים-).
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
כור היתוך טנטלום 99.95% עבור מאייד קרן אלקטרונים, שימוש במעבדה כור היתוך Ta
אתגרי ייצור של כור היתוך טנטלום בטוהר גבוה
לאחר-ייצור, חישול ואקום (1500 מעלות, 10⁻⁵ Pa) מסיר גזים נספגים, ומגביר עוד יותר את הטוהר.
יתרונות ביצועים ביישומים קריטיים
באפיטקסיה של מוליכים למחצה, 99.99% כור היתוך מונעים זיהום דופנט (למשל, Fe משנה את התכונות החשמליות של הסיליקון). עבור דלק גרעיני, הם מכילים נמסים של תחמוצת אורניום מבלי להכניס ניטרונים -סופגים זיהומים (למשל, B, Cd). שיעור הגז הנמוך שלהם (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
