מטרות טנטלוםבדרך כלל מגיעים בצורת דיסקים או צלחות מלבניות, אך ניתן גם ליצור מגוון של צורות וגדלים בהתאם לדרישות היישום הספציפיות. המאפיינים המבניים העיקריים שלו כוללים:
טוהר גבוה: בדרך כלל יותר מ-99.9%, לפעמים אפילו עד 99.999%. טוהר גבוה מבטיח שלא יוכנסו זיהומים לא רצויים במהלך תהליך שקיעת הסרט הדק.
אחידות: מטרות טנטלום חייבות להיות בעלות מבנה מיקרו אחיד כדי להבטיח פיזור חומר אחיד במהלך שקיעת סרט דק.
צפיפות גבוהה: אחידות הצפיפות היא קריטית כדי להבטיח יציבות במהלך השקיעה.